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真空核心零部件

APC自動控壓插板閥
APC(Automatic Pressure Control,APC)自動壓力調(diào)節(jié)插板閥應(yīng)用于真空腔室的壓力調(diào)節(jié)或真空隔斷,控制精度高,響應(yīng)速度快,震動噪音小。
閥板作為調(diào)節(jié)元件,通過不同位置改變閥門通經(jīng)流導(dǎo)大小,控制主抽泵的有效抽速。APC控制器根據(jù)腔體容積、流量等條件自學(xué)習(xí),自動建立壓力控制參數(shù)。用戶上位機輸入設(shè)定工藝真空壓力,APC壓力控制器通過與壓力傳感器實時反饋腔體壓力值比對,自動計算所需閥板位置,快速精準到達預(yù)定位置并適當微調(diào),以獲得設(shè)定的真空壓力值。

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